歡迎進(jìn)入深圳山河精測(cè)科技有限公司網(wǎng)站!
18926772129
Product Center


產(chǎn)品簡(jiǎn)介
產(chǎn)品分類
H600超聲掃描顯微鏡(SAT)是一種利用超聲波為傳播媒介的無(wú)損檢測(cè)成像設(shè)備,主要利用高頻超聲波,對(duì)各類半導(dǎo)體器件、材料進(jìn)行檢測(cè),能夠檢測(cè)出樣品內(nèi)部的氣孔、裂紋、夾雜和分層等缺陷,并以圖形的方式直觀展示。在掃描過程中,不會(huì)對(duì)樣品造成損傷,不會(huì)影響樣品性能,可滿足陶瓷基板、IGBT、水冷散熱器、電池、半導(dǎo)體、電器焊接件、金剛石復(fù)合材料、碳纖維復(fù)合材料等產(chǎn)品質(zhì)控需求。
一、設(shè)備主要配置表
序號(hào) | 名稱 | 規(guī)格 |
1 | 掃描系統(tǒng) | X軸:直線電機(jī)驅(qū)動(dòng);Y軸:伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng);Z軸:步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng) |
2 | 水槽 | 620mm x 650mm x 150 mm |
3 | 超聲發(fā)射、接收器 | 帶寬1-65MHz |
4 | 高速數(shù)據(jù)采集卡 | 采樣頻率 500MHz |
5 | 超聲探頭 | 本機(jī)型可適配100MHz及以下頻率的探頭; 本機(jī)型標(biāo)配50MHz0.5in探頭一只;透射模組T-scan一套; |
6 | 工控機(jī) | i5處理器、內(nèi)存8GB、硬盤1T、Win10 64位操作系統(tǒng)。 |
7 | 顯示器 | 兩個(gè)27"液晶顯示器 |
8 | 檢測(cè)軟件 | 山河超聲無(wú)損檢測(cè)軟件V2.0 |
二、半導(dǎo)體芯片封裝分層檢測(cè)能力
測(cè)量能力 | 能力描述 |
標(biāo)準(zhǔn)塊測(cè)量誤差 | 測(cè)量機(jī)械加工的標(biāo)準(zhǔn)塊,在軟件進(jìn)行強(qiáng)度校準(zhǔn)的前提下,超聲檢測(cè)多次測(cè)量誤差在±1%。 |
工件測(cè)量誤差 | 選取TO系列、SOT系列、SOP等系列工件,采用同一處方且檢測(cè)量程不變的情況下分別調(diào)整增益22dB、26dB、30dB進(jìn)行檢測(cè),三次檢測(cè)結(jié)果釬著率差值在±1%以內(nèi)。 |
厚度測(cè)量范圍 | Epoxy材料: Cu材料: 0.5 ~ 2mm(50MHz探頭) 0.5 ~ 1.4mm(25MHz探頭) 1.0 ~ 4.0mm(15MHz探頭) 1.2 ~ 3.7mm(15MHz探頭) 注:根據(jù)客戶工件的材料和厚度選配探頭 |
缺陷識(shí)別能力 | 在測(cè)量系統(tǒng)厚度能力范圍內(nèi),被測(cè)材料聲速在標(biāo)準(zhǔn)材料聲速±5%以內(nèi)的情況下,且超聲入射表面為平面的被測(cè)產(chǎn)品的水平方向的結(jié)合缺陷的識(shí)別能力為0.15毫米(15MHz、25MHz探頭)和0.07毫米(50MHz探頭)。 |
三、軟件功能
軟件功能 | 功能描述 |
手動(dòng)掃描 | 可以通過手動(dòng)的方式生成C掃描圖像,反映被檢焊接結(jié)合面結(jié)合情況,并以釬著率、缺陷面積等數(shù)值的形式顯示檢測(cè)結(jié)果。 |
探頭與C掃圖像對(duì)位 | 可通過點(diǎn)擊C 掃圖的具體像素點(diǎn)將探頭移至與實(shí)際被檢工件相對(duì)應(yīng)的位置。 |
手動(dòng)分析 | 對(duì)生成的C掃圖片可以進(jìn)行各種編輯,包括加框(確認(rèn)有效分析區(qū)域),測(cè)距,修改閾值,圖片剪裁,弧面補(bǔ)償?shù)取?/span> |
多種掃描模式 | (1) A掃描:查看超聲反射或透射波形; (2) C掃描:對(duì)焦深度上沿X-Y平面掃描并成像; (3) T掃描:安裝透射探桿,執(zhí)行穿透掃描; (4) 區(qū)域掃描:可自定義檢測(cè)區(qū)域,并對(duì)檢測(cè)區(qū)域進(jìn)行掃描; (5) 斷層掃描:在指定的多種深度自動(dòng)多次執(zhí)行C掃描并成像; (6) 批量掃描:對(duì)放置于水槽中的一種或多種工件進(jìn)行自動(dòng)檢測(cè)。 |
報(bào)告自動(dòng)生成 | 可對(duì)檢測(cè)結(jié)果自動(dòng)進(jìn)行編輯并輸出報(bào)告文檔。 |
探頭管理 | 可對(duì)不同型號(hào)探頭進(jìn)行更換或編輯。 |
一鍵自動(dòng)校準(zhǔn) | 可自動(dòng)對(duì)檢測(cè)設(shè)備坐標(biāo)偏移及檢測(cè)系統(tǒng)能量變化,能實(shí)時(shí)校準(zhǔn)系統(tǒng)漂移,保證檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。 |
不銹鋼標(biāo)準(zhǔn)強(qiáng)度 | H600超聲掃描顯微鏡自帶滿足GBT 11259-2015《超聲波檢測(cè)用鋼對(duì)比試塊的制作與校驗(yàn)方法》的不銹鋼標(biāo)準(zhǔn)塊。認(rèn)定該不銹鋼標(biāo)準(zhǔn)塊的超聲反射強(qiáng)度=100 STSS(“STainless Steel Standard"的縮寫),其他所有材料的檢測(cè)相對(duì)于STSS做換算。 |
缺陷檢測(cè)能 | 焊接缺陷、粘接缺陷、封裝分層、粘片空洞等區(qū)域和良好區(qū)域。 可對(duì)缺陷尺寸和面積進(jìn)行自動(dòng)統(tǒng)計(jì)和計(jì)算。也可根據(jù)客戶的要求,提供有償定制開發(fā)服務(wù)。 |
厚度檢測(cè) | 金剛石圓片等工件的金剛石層厚度檢測(cè)。 |
密度檢測(cè) | 粉末冶金原材料密度分布檢測(cè)。 |
斷層檢測(cè) | 對(duì)被測(cè)工件不同深度位置獨(dú)立對(duì)焦和掃描,形成多層斷層圖像,展現(xiàn)立體缺陷。 |
聲速檢測(cè) | 聲音在被測(cè)材質(zhì)中的飛行速度檢測(cè)。 |